Innra lag hringrásarborðsins þjónar sem kjarnaarkitektúr alls hringrásarborðsins og gæði framleiðsluferlis þess ákvarðar beint rafmagnsgetu, stöðugleika og áreiðanleika hringrásarborðsins. Með stöðugri þróun rafrænna vara í átt að smæðingu og mikilli afköstum hafa verið settar fram strangari kröfur um framleiðslunákvæmni og gæði innri laga hringrásarborða.
Skurður: nákvæm stærð leggur grunninn
Skurður er upphafsferli innri hringrásarframleiðslu. Starfsfólkið klippti vinnuborðið sem uppfyllir kröfurnar frá stöðluðu kopar-klæddu borðinu sem byggir á fyrirfram áætluðu verkstærð og vísar til Gerber. Þetta skref krefst mjög mikillar víddarnákvæmni, þar sem öll síðari vinnsluþrep eru byggð á skurðarstærðinni. Ef víddarfrávikið er of stórt, getur það leitt til alvarlegra vandamála eins og skipulagsfrávik innra lags hringrásarinnar og misjöfnunar millilags við marg-laga borðpressun. Hvað varðar skurðaraðferðir eru oft notaðar há-nákvæmar CNC skurðarvélar og val á skurðarverkfærum skiptir einnig sköpum. Það þarf að laga það í samræmi við efni og þykkt kopar-borðsins til að tryggja flatneskju og hornrétt skurðbrúnarinnar, draga úr burrum og aflögun. Á sama tíma er ekki hægt að horfa framhjá síðari ferlum eins og myndflutningi, brúnslípun og flakavinnslu og viðeigandi vinnsla getur í raun bætt vinnsluafraksturinn.
Formeðferð: Hreinsun og grófgerð koparyfirborðs
Kjarnaverkefni for-vinnslu er að þrífa og hrjúfa koparyfirborð kopar-húðaðs lagskiptsins, sem gefur góðan viðloðun grunn fyrir síðari vinnslu. Þetta skref kann að virðast einfalt, en það hefur í raun mikil áhrif á árangur eða bilun í allri innri hringrásarframleiðslunni. Áður en þurr filmu er pressað þarf koparyfirborðið að vera stranglega meðhöndlað. Núverandi kopar yfirborðsmeðferðaraðferðir innihalda aðallega bursta, sandblástur og efnafræðilegar aðferðir.
Bursta- og malaaðferð: Lítil kostnaður og einfalt ferli, en ekki hentugur fyrir þunna og þunna hringrásarplötur, sem geta auðveldlega valdið lengingu undirlags og er ekki hentugur fyrir innra lag þunnt borð. Þegar burstamerkið er of djúpt getur það valdið erfiðleikum við viðloðun við þurra filmu og leitt til málunarfyrirbæra og einnig er hugsanleg hætta á límleifum.
Sandblástursaðferð: Það getur gert grófleika og einsleitni koparyfirborðsins betri en burstaaðferðin og hefur góðan víddarstöðugleika. Það er hægt að nota til meðhöndlunar á þunnum plötum og fínum vírum. Hins vegar er ókostur þess að sandblástursefni eru hætt við að festast við yfirborð borðsins og viðhald vélarinnar er erfitt.
Efnafræðileg aðferð: Með því að nota sérstakar efnalausnir til að framkvæma örætingarmeðferð á koparyfirborðinu er hægt að mynda einsleitan og viðeigandi örgrófleika á sama tíma og hreinleika koparyfirborðsins er tryggt, sem bætir viðloðun milli þurrfilmunnar og koparyfirborðsins til muna. Við raunverulega framleiðslu er styrkleiki, hitastig og meðferðartími efnafræðilegrar örætingarlausnar stranglega stjórnað til að tryggja bestu meðferðaráhrif.
Þrýstifilma: þétt fest til að tryggja myndrænan flutning
Lagskipunarferlið er að festa ljósnæmu þurru filmuna vel á formeðhöndlaða koparyfirborðið, sem hefur bein áhrif á skýrleika og nákvæmni hringrásarmynsturflutningsins í síðara lýsingarferlinu. Fyrir þunnar plötur með ákveðna þykkt eða meira þarf lagskiptingin almennt að fylgjast vel með vandamálinu með hrukkum filmu meðan á notkun stendur til að tryggja að þurr filman sé flöt og festist við koparyfirborðið án hrukka. Pressuhitastig og þrýstingur eru lykilbreytur þar sem hægt er að mýkja límið í þurru filmunni að fullu og ná þannig þéttu sambandi við koparyfirborðið. Á sama tíma er nauðsynlegt að tryggja flatleika og hreinleika rúllunnar á lagskiptu vélinni til að forðast lélega þurrfilmuviðloðun af völdum valsgalla eða yfirborðsóhreininda, sem geta haft áhrif á síðari grafíska flutningsáhrif.
Lýsing: Nákvæm myndmyndun mótar frumgerð hringrásarinnar
Útsetning er lykilskref í framleiðslu innra lags hringrása. LDI útsetningarvélar eru notaðar, byggðar á meginreglunni um nákvæmni leysisskönnun. Búnaðurinn stjórnar háorkuleysisgeisla- beint til að varpa upp á yfirborð þurru filmunnar í samræmi við hringrásargögnin. Undir virkni leysirorku fer þurrfilman í gegnum ljósefnafræðileg viðbrögð og hringrásarmynstrið er "grafið" á þurra filmu borðsins með mikilli nákvæmni og lýkur flutningi hringrásarmynstrsins. Meðan á þessu ferli stendur er leysisnákvæmni, orkustöðugleiki og staðsetningarnákvæmni vettvangs LDI útsetningarvélarinnar afgerandi: nákvæmni leysigeislans ákvarðar lágmarkslínubreiddargetu hringrásarinnar og orkustöðugleiki er nauðsynlegur til að tryggja samræmda þurrfilmunæmi og forðast staðbundna undirlýsingu eða oflýsingu; Pallurinn þarf að bera spjaldið nákvæmlega, tryggja nákvæma hlutfallslega stöðu milli leysiskönnunar og borðsins og tryggja samkvæmni flutnings á öllu hringrásarmynstrinum. Á sama tíma þarf að aðlaga umhverfishitastig og rakastig, sem og ljósnæma eiginleika þurrfilmunnar, til að tryggja að grafík hringrásarinnar sé skýr og nákvæmni uppfylli staðla, leggja hágæða grunn fyrir síðari ætingarferli og forðast galla eins og þynningu hringrásar og skammhlaup vegna útsetningarfráviks.
Æsing: nákvæm fjarlæging á umfram koparþynnu
Ætingarferlið miðar að því að fjarlægja koparþynnuna sem hefur ekki verið varin með þurrri filmu og skilur eftir sig nákvæmar hringrásarlínur. Algengar ætarefnalausnir í greininni innihalda nú súr koparklóríð ætarlausn og basísk ammoníak ætarlausn. Í innra lagsferlinu er súr ætarlausn að mestu notuð vegna þurrrar filmu eða bleks sem andstæðingur ætingarlag. Styrkur, hitastig, ætingartími og úðaþrýstingur ætunarlausnarinnar eru allar breytur sem þarf að hafa strangt eftirlit með. Með því að stjórna þessum breytum nákvæmlega er tryggt að ætingarferlið sé einsleitt og stöðugt, sem leiðir til beinna hliðar hringrásarinnar, tryggir nákvæmni og gæði hringrásarinnar og forðast galla eins og þynningu, skammhlaup eða opnar hringrásir.
Borun: nákvæm staðsetning og tenging milli laga
Borunarferlið er að bora staðsetningargöt fyrir millilagsstillingu og rafmagnstengingu í samræmi við kröfurnar eftir að innra lagrásarætinu er lokið. Staðsetningarnákvæmni þessara staðsetningargata hefur bein áhrif á nákvæmni millilagajöfnunar við marg-lagspjöld og áreiðanleika síðari raftenginga. Nákvæmni borbúnaðar og gæði bora eru lykilatriði. Meðan á borunarferlinu stendur er nauðsynlegt að tryggja lóðrétta borholuna og stöðugleika gatakraftsins, til að forðast vandamál eins og aflögun holuveggsins og of miklar burrs af halla eða ójöfnum þrýstingi borkronans, og til að leggja góðan grunn fyrir síðari fjöl-laga borðpressu og raftengingu.