1, Meginregla og kostir örblindrar grafnar holutækni
(1) Tæknilegar reglur
Ör blind grafið hola tækni er sérstakt ferli sem notað er við framleiðslu áHDIborð til að mynda örsmá blindgöt og niðurgrafin göt. Blindhol eru leiðandi holur sem byrja frá yfirborði hringrásarborðs og fara ekki í gegnum allt hringrásarborðið; Grafin holur eru leiðandi holur sem eru falin inni í hringrásinni og tengja saman mismunandi innra lag hringrás. Þessar örblindu grafnar holur ná fram raftengingum milli mismunandi laga hringrásarborðsins með mikilli-nákvæmni borun, rafhúðun og öðrum ferlum. Til dæmis getur laserborunartækni borað mjög lítil blindgöt á hringrásartöflur með nákvæmni upp á tugi míkrómetra eða jafnvel lægri, og mætir eftirspurn eftir háþéttni samtengingum í rafeindavörum.
(2) Tæknilegir kostir
Í samanburði við hefðbundna gegnum-holutækni hefur örblind grafin holatækni verulega kosti. Í fyrsta lagi getur það í raun dregið úr stærð og þykkt hringrásarborðsins. Vegna þess að örblind grafin göt þurfa ekki að fara í gegnum allt hringrásarborðið, forðast það að taka of mikið pláss á hringrásarborðinu, sem gerir ráð fyrir fleiri hringrásartengingum og hagnýtri samþættingu innan takmarkaðs svæðis, og eykur þar með þéttleika vörunnar til muna. Í öðru lagi getur örblindt grafið holatækni stytt merkjasendingarleiðina, dregið úr tapi og truflunum við merkjasendingu, bætt hraða og stöðugleika merkjasendingar, uppfyllt þarfir háhraða merkjasendingar og veitt tryggingar fyrir-afköstum rafrænna vara.
2, Lykilskref fyrir HDI framleiðendur til að beita örblindri grafinni holutækni
(1) Efnisval og formeðferð
HvenærHDI framleiðendurbeita örblindri grafinni holutækni, þeir þurfa fyrst að velja viðeigandi undirlagsefni. Hágæða undirlagsefni ættu að hafa góða rafmagnsgetu, vélræna frammistöðu og hitastöðugleika og geta staðist háan hita, háspennu og aðrar vinnsluaðstæður meðan á framleiðsluferlinu stendur fyrir örblind grafin holur. Til dæmis getur val á efnum með lágan rafstuðul og lítið tap hjálpað til við að draga úr tapi merkjasendinga. Á sama tíma er formeðferð á undirlagsefninu einnig mikilvæg, þar á meðal hreinsun, grófgerð og önnur skref, til að bæta viðloðun milli yfirborðs undirlagsins og síðari húðunar, og tryggja gæði örblindra hola.
(2) Borunarferlisstýring
Borun er einn af kjarnaþáttum örblindrar grafnar holutækni. HDI framleiðendur nota venjulega leysiboranir, vélrænar boranir eða blöndu af báðum aðferðum. Laserborun hefur kosti mikillar nákvæmni, mikillar skilvirkni og getu til að vinna úr litlum opum, sem geta uppfyllt strangar kröfur um ljósop og staðsetningarnákvæmni fyrir örblind grafin holur. Meðan á borunarferlinu stendur er nauðsynlegt að stjórna nákvæmlega breytum eins og leysiorku, púlstíðni og blettþvermáli til að tryggja samræmda stærð á boraða blinda holunni, sléttan gatvegg og forðast galla eins og burrs og sprungur. Fyrir vinnslu á niðurgrafnum holum krefst vélrænnar boranir há-nákvæmni borunarvéla og verkfæra, strangt eftirlit með dýpt og lóðréttri borun og tryggja nákvæma tengingu milli grafinna hola og ýmissa laga af línum.
(3) Rafhúðun og rafrásarframleiðsla
Eftir borun er nauðsynlegt að framkvæma rafhúðun meðhöndlunar á örblindu grafnum holunum til að mynda góða leiðandi leið. Rafhúðun ferlið krefst samræmdrar útfellingar málms á holuveggnum og yfirborði hringrásarplötunnar, venjulega með því að nota blöndu af efnahúðun og rafhúðununaraðferðum. Efnahúðun leggur fyrst þunnt lag af málmi á holuvegginn, sem gefur góðan leiðandi grunn fyrir síðari rafhúðun; Rafhúðun þykkir málmlagið enn frekar til að uppfylla kröfur um rafmagnsgetu. Meðan á rafhúðuninni stendur er nauðsynlegt að hafa strangt eftirlit með samsetningu, hitastigi, pH-gildi og öðrum breytum málunarlausnarinnar til að tryggja gæði og einsleitni húðarinnar. Eftir að rafhúðun er lokið er hringrásarborðið búið til í samræmi við hönnunarkröfur og hringrásarmynstrið er nákvæmlega flutt á hringrásarborðið með ljóslithography, ætingu og öðrum ferlum til að ná rafmagnstengingum á milli hvers lags.
(4) Gæðaskoðun og eftirlit
Örblind grafin hola tæknin hefur mjög miklar gæðakröfur fyrir HDI plötur, svo gæðaskoðun og eftirlit gengur í gegnum allt framleiðsluferlið. HDI framleiðendur nota ýmsar prófunaraðferðir, svo sem sjónsmásjárskoðun, rafeindasmásjárskoðun, röntgenprófun o.s.frv., til að skoða ítarlega stærð, lögun, staðsetningarnákvæmni og húðunargæði örblindgrafinna hola. Með rauntímavöktun og gagnagreiningu er hægt að greina vandamál í framleiðsluferlinu tímanlega og gera samsvarandi umbótaráðstafanir til að tryggja stöðugleika og samkvæmni vörugæða. Til dæmis getur röntgenskoðun greinilega fylgst með ástandinu inni í holunni og greint hvort um galla sé að ræða eins og tómarúm og sýndarsuðu; Uppgötvun rafeindasmásjár getur framkvæmt smásjárgreiningu á vegggæði örblindra grafna hola, sem gefur grundvöll fyrir hagræðingu ferlisins.